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      渦旋干式真空泵的應用

      發布時間:2018-07-11 16:48:40 來源:admin
      渦旋機械具有廣泛的應用領域,主要有渦旋壓縮機、渦旋增壓器、渦旋真空泵等。
       
      其中制冷與空調是渦旋機械應用最為廣泛和成熟的領域,主要包括柜式空調用全封閉制冷壓縮機、窗式空調用小功率壓縮機以及汽車空調系統用渦旋壓縮機。德國大眾公司開發了著名的G增壓器,將發動機功率提高了35%。
       
      作為干式真空泵的一種,渦旋式真空泵與其他的無油真空泵相比具有低噪、低振、能耗低等特點,已經廣泛應用于眾多科學研究與生產領域中:
       
      (1)半導體行業—薄膜制備設備、高端超大規模集成電路制備、半導體器件封裝設備;
       
      (2)真空冶金行業—真空爐、幾真空檢測設備、納米材料制備設備;
       
      (3)科學儀器行業—同步輻射裝置、掃描電子顯微鏡、高分辨率質譜儀等分析測試儀器;
       
      (4)醫療設備—牙科儀器、透析機;
       
      (5)生物制品行業—材料提純、藥品制備;
       
      (6)包裝行業—藥品、食品、生物制品等包裝設備。
       
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