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      真空技術的發展及應用

      發布時間:2018-07-11 17:03:46 來源:admin
      真空技術始于十六世紀四十年代意大利的物理學家托里拆利所做的一個實驗---托里拆利實驗。他將一根一端封閉的長玻璃管灌滿汞并倒立于汞槽中時,發現管中汞面下降,水銀柱可保持高達760mm的高度。在1654年,他在馬德堡進行了著名的馬德堡半球試驗,使得人們對大氣壓力這個概念有了更新的認識。在英國工業革命成功后,生產力和科學實驗發展推動了真空技術的發展,引來很多學者開始研究在低氣壓環境中發生的現象,工程師們也不斷發明創造出各式各樣的抽氣設備。從物理學上來講,真空泛指一個容器中的氣體被全部或者部分抽掉,形成的低氣壓狀態小于地面的大氣壓。
       
      時代在進步,技術在發展,真空技術也有蓬勃發展的勢頭,各種真空產品的應用越來越普及,如航空航天、表面處理、化工、半導體、光學通訊設備、微納加工、真空鍍膜等產業。各行各業針對本行業實際所需的真空環境也提出了更高的要求,如清潔、環保、無污染、更高的效率、更輕便、免維護等。
       
      近年來,隨著光伏產業、精細化工、半導體等行業的快速發展,對真空系統的要求較以往更為嚴格,例如被抽系統要求真空系統在工作過程中無返流,化工行業中,要求真空設備將污染性氣體以及具有腐蝕性作用的氣體收集起來,對于這些嚴格的要求,干式真空泵的作用將會越來越明顯。自從研制出干式真空泵以來,國外一些真空企業和科研院所設計開發了多種類型的干式真空泵,如螺桿型干式真空泵、爪型干式真空泵、羅茨干式真空泵等。據統計,干式真空泵已經占據全球真空泵市場的半壁江山,市場份額在所有真空泵類型中穩居第一位,但是受國內行情的限制,國內干式真空泵的使用率還未達到1%,推廣空間還很大。
       
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