一、干式真空泵的定義

干式真空泵的定義有幾個限制條件：（1）在泵的整個抽氣的通道內，不能有任何的油、水等液體，即所謂的“干”，所以油封式真空泵、液環式真空泵都不屬于干式真空泵。（2）泵的排氣口與大氣相通，能夠連續向大氣排氣，即在高真空系統干式真空泵多作為前級泵使用，所以像分子泵、離子泵也不是干式真空泵。（3）能夠在大氣壓到10-2帕工作的真空泵，即要求干式真空泵能夠具備抽到粗、中真空的抽氣能力。干式真空泵按照抽氣原理可以分為干式容積真空泵和動量傳輸真空泵。干式容積式真空泵包括爪型泵、螺桿泵、渦旋泵、多級活塞泵、多級羅茨泵等。動量傳輸式真空泵包括離心干式泵、渦輪干式泵等。

 

二、干式真空泵的應用領域

干式真空泵以其潔凈無油的特點受到越來越多行業的青睞。隨著半導體集成電路的發展，芯片集成度越來越高、體積越來越小、刻蝕寬度早已進入納米級，對油污，灰塵相當敏感，干式真空泵成而成為其不二的選擇。在食品藥品領域，人們對食品藥品的品質要求越來越高，好品質的食品藥品在市場中越來越受歡迎，因此國內的食品藥品領域也越來越多的選用干式真空泵代替原有的油封式真空泵、水環式真空泵等。真空鍍膜行業，干式真空泵能夠保證潔凈的真空，得到更好的鍍膜質量。測試儀器方面，如電子顯微鏡、放療設備等需要真空環境，而隨著人們對實驗室環境健康要求越來越高，干式真空泵的優勢十分明顯。綜上干式真空泵的應用可歸納為以下幾個方面：

 

（1）半導體、集成電路行業。

 

（2）食品、藥品加工行業。

 

（3）金屬非金屬材料、真空鍍膜行業。

 

（4）需要真空環境的儀器、研究領域。

 

（5）航空、物理、航天領域。