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      國內干式真空泵發展現狀

      發布時間:2018-09-09 10:24:48 來源:admin
      當前國內生產的真空獲得設備仍然以傳統的真空泵為主,主要為水環真空泵、旋片真空泵、蒸汽流泵、滑閥真空泵、羅茨真空泵,且全部用于傳統行業。我國生產的真空泵真正用于集成電子電路信息產業的不足1%。相比于日本、歐美等發達國家差距巨大。我國的干式真空泵正處于起步階段,全國200多家生產真空泵的企業中,能夠生產干式真空泵的企業不超過10家,難以形成批量生產。
       
      國內生產的干式真空泵大部分應用于實驗室、化學、醫療等領域,很少有國產干泵應用于半導體行業。究其原因一方面半導體的生產過程中會產生大量粉塵,處理不好容易造成干泵卡死,尤其刻蝕工藝多用腐蝕性氣體,會對干泵內部零件造成腐蝕,造成漏油、毒氣泄漏等事故。若干泵故障多發,對半導體集成電路生產造成的損失巨大。國產干泵的可靠性還不能解決上述問題。近年來,隨著國內經濟轉型,半導體電子信息產業在國內的飛速發展,但國內干式真空泵的發展沒有跟上,使該領域成為國際上干式真空泵工業發達國家的擴張之地。
       
      國內的半導體集成電路生產線,幾乎所有的干式真空泵都是進口泵,進口泵主要來自日本、德國、美國、英國、法國等。在日本,半導體行業已全部用干式真空泵代替油封式機械泵,歐美半導體行業45%以上用干式真空泵代替油封式機械泵,目前干式真空泵的主要型式有爪型、羅茨型、渦旋型、螺桿型和往復活塞式、隔膜式等幾種。國內生產的干式真空泵想要進入該領域十分艱難,使得干式真空泵這個未來真空獲得設備的主導產品在國內的處境十分艱難,造成此狀況的主要原因是我國真空干泵的起步晚,絕大部分市場已經被國外產品占領。國內真空干泵除了價格優勢,在加工、材料、設計創新都難以與國外品牌競爭。尤其可靠性方面更是與國外同類產品存在差距。
       
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