爪式真空泵是一種在半導體行業應用非常廣泛的真空泵。第一臺爪式真空泵誕生于日本，隨著日本半導體行業的蓬勃發張，爪式真空泵的應用量迅速增大。它除了有干式真空泵腔內無油的共同特點外，還有自己的獨特優點。

 

（1）轉子與轉子之間，轉子與腔體之間存在間隙，沒有摩擦。

 

（2）可以直排大氣，能夠在高壓下長期穩定工作。

 

（3）能夠抽除腐蝕性、劇毒性、放射性和易燃性氣體。

 

（4）壓縮比大，可以達到10～105。（5）對粉塵的耐受性較強。

 

爪型干式真空泵可以做成單級，也可以做成多級。很多公司都采用爪型轉子與羅茨轉子組合的方式。一般爪泵做前級。它利用了在低壓下羅茨泵的抽氣效率較高，高壓下爪型轉子抽氣效率較高的特點，將這兩種泵各自的優勢匹配起來，組成干式真空泵。這樣的干式真空泵適用于真空度達1Pa，含水分子和硬質腐蝕顆粒的半導體芯片，光學通訊設備及平板顯示器等高科技行業的苛刻工藝流程。在眾多的干式真空泵中，爪式真空泵備受半導體、光學器件等高科技行業的青睞。